لیتوگرافی با استفاده از فروسیال

فروسیالی بر پایه آب حاوی نانوذرات مگنتایت (fe3o4) و مگمایت (fe2o3-?) به روش هم رسوبی تهیه گردید. نتایج طیف سنجی فرابنفش – مرئی (uv-vis.) وجود هر دو فاز مگنتایت و مگمایت را نشان می دهد. نمونه های مختلفی تولید و مورد بررسی قرار گرفت. تصاویر میکروسکوپی گرفته شده از لایه ی فروسیال تحت تاثیر میدان مغناطیسی، موید تشکیل الگوهایی به صورت نقاط تاریک می باشد. این الگوها با تغییر شدت میدان مغناطیسی تغییر می کنند، به گونه ای که با افزایش میدان مغناطیسی عمودی، نقاط کوچکتر می شوند. ارزیابی آماری تصاویر نیز بیانگر آن است که، درصد بیشتری از نقاط به سمت محدوده µm2 5-1 انتقال می یابند. علی رغم اینکه اندازه نقاط و فاصله بین آنها وابسته به بزرگی و جهت میدان اعمالی است، جهت گیری آرایه ی نقاط به صورت تصادفی می باشد. بنابراین الگوها، شبه دوره ایی یا شبه تناوبی هستند. پس از بررسی الگوهای ساختاری لایه ی فروسیال، از این لایه به عنوان ماسکی برای انجام فرآیند لیتوگرافی نوری استفاده گردید. تجزیه و تحلیل های آماری روی عکس های لیتوگرافی نیز صورت گرفت. سطوح بیشتر نقاط در بازه های مختلفی در محدوده µm2 20-1 می باشد. هم چنین اثر افزایش ضخامت لایه فروسیال بر فرایند لیتوگرافی مورد ارزیابی قرار گرفت. با افزایش ضخامت لایه ی فروسیال فاصله بین نقاط بیشتر می گردد، اما در سطح مقطع نقاط تغییری مشاهده نمی شود.